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[单选题]下列关于固体浸没式椭偏仪的说法错误的是[     ] Khg答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
A固体浸没式椭偏仪可以用来精确测量薄膜的厚度和折射率;Khg答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
B固体浸没隧穿椭圆偏振仪不仅适合超薄薄膜,也适合厚膜;Khg答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
C固体浸没式椭偏仪,可以在极小的面积上进行精确的椭偏测量,通过扫描样品可以获得薄膜厚度和折射率变化的高质量图像;Khg答案窝(daanwo.com)-大学生作业答案及考资分享平台
D由于存在大于或小于临界角的角度,该仪器能够测量亚纳米到几微米的薄膜图案,横向分辨率可达100纳米;
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