问题:
A固体浸没式椭偏仪可以用来精确测量薄膜的厚度和折射率;
B固体浸没隧穿椭圆偏振仪不仅适合超薄薄膜,也适合厚膜;
C固体浸没式椭偏仪,可以在极小的面积上进行精确的椭偏测量,通过扫描样品可以获得薄膜厚度和折射率变化的高质量图像;
D由于存在大于或小于临界角的角度,该仪器能够测量亚纳米到几微米的薄膜图案,横向分辨率可达100纳米;
[单选题]下列关于固体浸没式椭偏仪的说法错误的是[ ]
答案解析:
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