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[单选题]大规模集成电路的微细制作方法有氧化、（ ）d9a答案窝(daanwo.com)-大学作业答案分享平台
A外延生长d9a答案窝(daanwo.com)-大学作业答案分享平台
B光刻d9a答案窝(daanwo.com)-大学作业答案分享平台
C选择扩散d9a答案窝(daanwo.com)-大学作业答案分享平台
D以上都正确

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