下图所示为调相式光栅读数头的原理。图中所示三个光栅的周期均为1μm,圆柱光栅半径为10mm,以每60转/分的转速匀速旋转,则参考信号的频率是____kHz(保留1位小数),如果用这种方法位相测量精度为1度,对应位移测量精度____nm (保留1位小数)
下图所示为调相式光栅读数头的原理。图中所示三个光栅的周期均为1μm,圆柱光栅半径为10mm,以每60转/分的转速匀速旋转,则参考信号的频率是____kHz(保留1位小数),如果用这种方法位相测量精度为1度,对应位移测量精度____nm (保留1位小数)
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