下图是制作全息光栅的曝光光路。分光镜将激光分成左右两束。两束激光分别经过对应的扩束准直系统后,成为大口径的平行光。两平行光在基板上产生干涉条纹用于全息曝光;同时平行光也入射到参考光栅上,其中右侧平行光的–1级衍射与左侧平行光的0级反射相干涉,产生的干涉信号被探测器探测后,用于驱动压电陶瓷以调整右下角反射镜的位置,实时锁定曝光干涉条纹的位相。这样的干涉系统符合:
A光学自适应原则
B阿贝原则
C爱彭斯坦原则
D都不符合
下图是制作全息光栅的曝光光路。分光镜将激光分成左右两束。两束激光分别经过对应的扩束准直系统后,成为大口径的平行光。两平行光在基板上产生干涉条纹用于全息曝光;同时平行光也入射到参考光栅上,其中右侧平行光的–1级衍射与左侧平行光的0级反射相干涉,产生的干涉信号被探测器探测后,用于驱动压电陶瓷以调整右下角反射镜的位置,实时锁定曝光干涉条纹的位相。这样的干涉系统符合:
A光学自适应原则
B阿贝原则
C爱彭斯坦原则
D都不符合
Copyright © 2020 www.daanwo.com All Rights Reserved |