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下图为角度和位移同时测量的双频干涉仪测量原理图。如果位相测量分辨率为1度,波长为0.6328μm,假设空气折射率为1,位移测量分辨率为W7B答案窝(daanwo.com)-大学作业答案分享平台W7B答案窝(daanwo.com)-大学作业答案分享平台
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