问题：
[填空题]现有一台K1为0.48，数值孔径（NA）为0.62，使用i线（波长365nm）曝光的光刻机，那么它的分辨率是____nm，____（能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形；如果将该光刻机光源改为KrF准分子激光（波长为248nm），那么____（能/不能）使用它光刻最小线宽为200nm的图形。
答案解析：
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