为了实现二维运动,将两个相同的一维移动台按照如图所示的方式放置。瞄准点A如图所示。X坐标不随移动台移动,Y坐标随下移动台的滑块移动,Z坐标随上移动台的滑块移动。物体初始位置坐标为:X=–20mm,
Y=–30mm,Z=50mm(离上面的移动台50mm)。位移用光栅尺测量(按照光栅尺在移动台上表面计算)。一维移动台的主要参数如下。单项阿贝误差按照阿贝臂最长的位置计算,且考虑阿贝臂的时候从所对应的移动台的台面算起。阿贝误差按照随机误差合成计算。当物体沿X轴正方向移动50mm,沿Y轴正方向移动70mm时,在X方向引入的阿贝误差是:
A5.34μm
B6.52μm
C5.26μm