借助惰性气体(如Ar)的辉光发电使沉积材料蒸发成离子化,离子经电场加速,沉积在带负电荷的工件表面,形成薄膜镀层,该过程称为( )。
A
真空蒸镀
B
化学气相沉积
C
离子镀
D
溅射镀膜
问题：
[单选题]
答案解析：
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