化学气相沉积()法三个基本步骤主要包括( )
A
沉积设备的预处理
B
首先形成挥发性物质
C
再将挥发性物质转移至沉积区域
D
在固体上产生化学反应并产生固态物质
问题：
[多选题]
答案解析：
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