A
真空蒸镀
B
热浸镀
C
溅射镀膜
D
离子镀
问题：
[多选题]下列属于物理气相沉积的是( )
A
真空蒸镀
B
热浸镀
C
溅射镀膜
D
离子镀
A
真空蒸镀
B
热浸镀
C
溅射镀膜
D
离子镀
答案解析：
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