问题:
[判断题]气相沉积技术可以用来制备各种特殊力学性能(如超硬、高耐蚀、耐热和抗氧化等)的薄膜涂层,还可以用来制备功能薄膜材料和装饰薄膜涂层等。
答案解析:
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