问题：
[判断题]离子注入表面改性的定义是把某种元素的原子电离成离子,并使其在电场中进行加速,在获得较高速度后射入置于真空靶室中的工件表面,以改变这种材料表面的物理、化学及力学性能的一种真空热处理技术。不属于物理气相沉积技术。
答案解析：
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