关于溅射镀膜的特点,叙述正确的是( )
A
与基体结合力强
B
均一性和再现性好
C
几乎适于一切物质薄膜
D
沉积速度慢,设备及工艺操作相对复杂
问题：
[多选题]
答案解析：
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